TD5275 型动态气体稀释仪

产品概述

TD5275 型动态气体稀释仪搭载多路 MFC 质量流量控制器，可对高浓度标准气体开展动态稀释配比工作，制备多组分、不同浓度的校准混合气体。设备采用 7 英寸高清触控大屏，自带手提便携结构，具备温度补偿、远程通讯控制功能，配气精度高、重复性好，既可用于实验室环境，也可在现场开展仪器标定、传感器测试、配气混气等相关实验。

仪器用途

采用多路 MFC 质量流量控制器，对高浓度标准气体进行动态稀释配比，制备多种组分、不同浓度的校准混合气体；用于仪器标定、传感器测试、实验室配气实验。

适用范围

气相液相色谱仪标定、半导体工艺、环境监测设备校准、CVD 材料制备实验、气体发生器校验、配气混气实验，适用于科研实验室、计量院所、环保第三方、仪表生产企业。

执行标准

GB/T 5275.7‑2025《气体分析 动态法制备校准用混合气体 第 7 部分：热式质量流量控制器》

主要功能

1. 高清触摸大屏操作，无需外接设备；支持 RS‑485 通讯，可与内部 MFC 通讯、上位机远程控制。

2. 多路高精度 MFC 流量控制，多量程可选；实现高精度、高重复性气体流量配比。

3. 内置 20 种基本气体，支持 10 种自定义混合气配置，气体种类可定制。

4. 自带温度补偿，降低环境温度对配气精度影响。

5. 最大稀释比可达 1000:1。

6. 便携一体式整机，自带手提把手，实验室与现场均可使用。

功能特点

1. 高清触控操作：7 寸触摸大屏，无需外接设备即可完成全部操作；配置 RS‑485 MODBUS‑RTU 通讯接口，支持上位机远程控制设备，实现自动化配气。

2. 高精度流量控制：搭载多路热式 MFC 质量流量控制器，读数精度 ±0.8% RDg，满量程精度 ±0.2% FS，重复性≤±0.2% FS，配气结果稳定、重复性好。

3. 宽稀释配比能力：最高稀释比例可达 1000:1，支持多量程 MFC 选配，适配不同浓度梯度的标气稀释需求。

4. 丰富气体库：内置 20 种基础气体库，可设置 10 种自定义混合气，气体种类支持按需定制，满足多组分混配实验。

主要技术参数

稀释比：最高 1000:1

各路 MFC 读数精度：±0.8% RDg

各路 MFC 满量程精度：±0.2% FS

各路 MFC 重复性：≤±0.2% FS

响应时间：＜100 毫秒

启动预热时间：＜1 分钟

工作条件：20℃，101.325kPa

耐压：1MPa

工作电源：AC220V±15%

通讯接口：RS‑485 MODBUS‑RTU

工作温度：0‑50℃

存储温度：‑40~85℃

整机重量：6kg

适用介质：气体

售后服务

设备出厂经过整机校准检验，配套全套操作说明书，提供远程技术指导。